干式机械真空泡沫泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。泡沫泵在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微

粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，渣浆泵不希望微粒混入泵油中，而希望泥浆泵微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空渣浆泵配件可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

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